Fotolithografie bzw. Photolithographie steht für:

Fotolithografie (Drucktechnik), Druckvorlagenvorbereitung Fotolithografie (Gestaltungstechnik), historische Gestaltungstechnik von Lithografien Fotolithografie (Halbleitertechnik), Strukturierungsverfahren in der Halbleitertechnik

Siehe auch: Lichtdruck (Druck)