Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W5Si3.
Gewinnung und Darstellung Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.
Eigenschaften Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der .
Verwendung Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.
Einzelnachweise
Kategorie:Wolframverbindung Kategorie:Silicid Kategorie:Verbindungshalbleiter