Ionenstreuspektroskopie (auch Ionenstreuungsspektroskopie; , ISS) bezeichnet eine Gruppe von oberflächensensitiven Analyseverfahren: Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. , LEIS) Mittelenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. , MEIS) Hochenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. , HEIS), üblicherweise als Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie (engl. , RBS) bezeichnet