Transparente, elektrisch leitfähige Oxide (, TCO) sind spezielle elektrisch leitfähige Materialien mit einer vergleichsweise geringen Absorption von elektromagnetischen Wellen im Bereich des sichtbaren Lichts. Sie werden in Form von dünnen Schichten in optoelektronischen Geräten wie Flachbildschirmen oder Solarzellen eingesetzt.
Verwendung Schichten aus Oxiden mit diesen Eigenschaften werden z. B. für die Herstellung transparenter Elektroden in Flüssigkristallbildschirmen, organischen Leuchtdioden, Touchscreens und einigen Bauformen des Magischen Auges eingesetzt. Auch in schaltbaren Verglasungen oder Dünnschicht-Solarzellen sowie in der Photovoltaik und der Displaytechnik, in der Beleuchtungstechnik, in der Automobiltechnik und der Architekturverglasung finden sie Verwendung.
Hergestellt werden TCO-Schichten mit Beschichtungsverfahren der Dünnschichttechnologie, beispielsweise thermisches Verdampfen oder bestimmte Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung.
Arten Zu den transparenten leitfähigen Oxiden gehören unter anderem:
antimondotiertes Zinnoxid (engl. , ATO), Indiumzinnoxid (engl. , ITO), fluordotiertes Zinnoxid (engl. , FTO, SnO2:F) und aluminiumdotiertes Zinkoxid (engl. , AZO, ZnO:Al) Cadmiumoxid
Literatur
Weblinks Transparente leitfähige Oxide – Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Braunschweig
Kategorie:Optischer Funktionswerkstoff Kategorie:Elektrotechnischer Werkstoff Kategorie:Werkstoff der Halbleiterelektronik