Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) ist eine quartäre Ammoniumverbindung mit der Konstitutionsformel [N(CH3)4]OH, ionisch [N(CH3)4]+OH−.
Eigenschaften
Chemische Eigenschaften TMAH ist eine starke Base. Beim Erhitzen von TMAH erfolgt Zersetzung in Trimethylamin und Methanol.
Verwendung In der Halbleiterfertigung beim anisotropen Nassätzen von Silicium Als Lösungsmittel beim Entwickeln von sauren Fotolacken Zur Verhinderung des Zusammenballens der Nanopartikel in einem Ferrofluid Als Derivatisierungsreagenz (Bildung von Methyl-Derivaten) in der chemischen Analytik Als Templat bei der Herstellung von synthetischen Zeolithen
Sicherheitshinweise TMAH führt zu starker Reizung bis hin zu Verätzung der Augen, der Atemwege, der Lunge sowie der Haut.
Das Tetramethylammonium-Kation (TMA) kann Nerven und Muskeln schädigen, was innerhalb von kürzester Zeit zu Atemlähmungen und schließlich zum Tod führen kann.Wu, C.L. et al. (2008): Mortality from dermal exposure to tetramethylammonium hydroxide. In: J. Occup. Health. 50(2):99-102. PMID 18403859.
Einzelnachweise
Kategorie:Tetraalkylammoniumverbindung