Bedampfung bedeutet: in der Dünnschichttechnik, das Bedampfen, das heißt die Beschichtung durch thermisches Verdampfen, ein PVD-Verfahren; in der Verfahrenstechnik, das Aussetzen einem Dampf für Zwecke wie eine chemische Reaktion oder die Erhitzung (Prozessdampf als Träger von Prozesswärme).