Jürgen Michael Grimm (* 13. November 1954 in Berlin) ist ein deutscher Physiker und Professor für Mikrosystemtechnik an der Westsächsischen Hochschule Zwickau (WH Zwickau)
Grimm wuchs in Berlin-Neukölln auf. Er studierte Physik an der Freien Universität Berlin, wo er 1981 sein Diplom erwarb und 1987 zum Thema „Charakterisierung molekularer Aggregate und ihrer dynamischen Prozesse im chemischen Mischkristallsystem Para-Dichlorbenzol/Para-Dibrombenzol“ bei Dietmar Stehlik promovierte. Bis 1992 war er leitender Mitarbeiter am Institut für Mikrostrukturtechnik IMT (jetzt ISIT Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie) der Fraunhofer-Gesellschaft in Berlin.
Im Jahr 1993 wurde Grimm Professor für Mikrosystemtechnik im Fachbereich Elektrotechnik der WH Zwickau. Forschungsschwerpunkte dort sind Infrarot-Trocknungssysteme, fotostrukturierbare und fotosensitive Polymere, u. a. SU-8 Cantilever, Drucksensorik und Röntgenmasken.
Grimm ist Mitglied des wissenschaftlichen Beirates des CiS Institut für Mikrosensorik.
Beteiligung an Patenten (Auswahl)
Veröffentlichungen (Auswahl) mit J. Saupe, M. Schönfeld: mit M. Hercht, Frank Bormann: mit J. Chlebek, T. Schulz, H.‐L. Huber: mit Jutta Trube, Hans-Ludwig Huber: mit C. von Borczyskowski: mit J. Boysen, A. Kettschau, W. D. Brewer, G. V. H. Wilson: mit T. Kirski, C. Von Borczyskowski: mit T. Kirski, C. Von Borczyskowski: mit J. Boysen, W. D. Brewer, G. V. H. Wilson: mit W. D. Brewer, J. Boysen, G. V. H. Wilson: mit W. D. Brewer, G. V. H. Wilson:
Einzelnachweise
Kategorie:Physiker (20. Jahrhundert) Kategorie:Physiker (21. Jahrhundert) Kategorie:Deutscher Kategorie:Geboren 1954 Kategorie:Mann