Ein Surface Mounted Resonator (SMR) oder Solidly Mounted Resonator ist ein Festkörper-Resonator, der in SMD-Technik auf die Oberfläche einer Leiterplatte montiert wird. Die akustische Isolation vom Substrat erfolgt durch mehrere akustische Spiegel, die aus abwechselnden (alternierenden) Schichten von ¼-Wellenlänge Dicke bestehen (akustisch hoch- und niederimpedante Lagen), z. B. abwechselnd Siliciumdioxid und Wolfram. Bereits mit wenigen Schichten wird eine gute Isolation erzielt.
Akustische Resonatoren (Surface Mounted oder auch als FBAR-Dünnfilmresonatoren) sind Wandler ( Transducer). Sie wandeln elektrische Signale in Schall- oder Ultraschall-Signale und umgekehrt um und werden dafür und als elektronische Filter, Duplexer sowie als Spannungswandler in Konsumgütern eingesetzt.
Bandpassfilter aus SMR- oder FBAR-Resonatoren können durch ihre maximale Arbeitsfrequenz von etwa 10 GHz und eine gute Temperaturstabilität etablierte mikroakustische Filtertechnologien in Mobilfunksystemen ersetzen.
Literatur K. Lakin, K. McCarron, und R. Rose: Solidly Mounted Resonators and Filters. In: Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1995, S. 905–908.
Einzelnachweise
Kategorie:Halbleiterbauelement Kategorie:Resonator Kategorie:Ultraschall