Difluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.
Gewinnung und Darstellung Difluorsilan kann durch Reaktion von Dichlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.
Es entsteht auch neben Trifluorsilan bei der Reaktion von Tetrafluorsilan mit Wasserstoff.
Eigenschaften Difluorsilan ist ein farbloses Gas und hat den höchsten Siedepunkt alle Fluorsilane. Es zersetzt sich bei Temperaturen ab etwa 450 °C zu SiHF3, SiF4 und anderen Verbindungen.
Verwendung Difluorsilan kann zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen verwendet werden.Nobuaki Watanabe, Mamoru Yoshida, Yi-Chao Jiang, Tutomu Nomoto, Ichimatsu Abiko: Preparation of Plasma Chemical Vapor Deposition Silicon Nitride Films from SiH2F2 and NH3 Source Gases. In: Japanese Journal of Applied Physics. 30, 1991, S. L619, doi:10.1143/JJAP.30.L619.
Einzelnachweise
Kategorie:Fluorverbindung Kategorie:Halogensilan Kategorie:Hydrosilan