Monofluorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.
Gewinnung und Darstellung Monofluorsilan kann durch Reaktion von Fluormethan mit SiliciumHan-Gook Cho: Investigation of Reaction Paths from Si + CH4 to C + SiH4 and from Si + CH3F to C + SiH3F: Intrinsic Reaction Coordinate Studies. In: Journal of the Korean Chemical Society. 60, 2016, S. 149, doi:10.5012/jkcs.2016.60.2.149. oder Reaktion von Silylmethylether mit Bortrifluorid oder Reaktion von Monochlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.
Eigenschaften Monofluorsilan ist ein farbloses Gas. Es besitzt als Feststoff bei 96 K eine monokline Kristallstruktur mit der und geht bei Normaldruck direkt in den gasförmigen Zustand über.A. J. Blake, E. A. V. Ebsworth, S. G. D. Henderson, A. J. Welch: Structure of silyl fluoride, SiH3F, at 96 K. In: Acta Crystallographica Section C Crystal Structure Communications. 41, S. 1141, doi:10.1107/S0108270185006904.
Verwendung Monofluorsilan kann zur Herstellung von Siliciumschichten verwendet werden.Akihisa Matsuda, Kiyoshi Yagii, Takao Kaga, Kazunobu Tanaka: Glow-Discharge Deposition of Amorphous Silicon from SiH3F . In: Japanese Journal of Applied Physics. 23, 1984, S. L576, doi:10.1143/JJAP.23.L576.
Einzelnachweise
Kategorie:Halogensilan Kategorie:Fluorverbindung Kategorie:Hydrosilan