Trichlorfluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung des Siliciums aus der Gruppe der Siliciumtetrahalogenide.
Gewinnung und Darstellung Trichlorfluorsilan (wie auch andere Fluorchlorsilane) kann durch Reaktion von Natriumhexafluorosilicat und Aluminiumchlorid oder durch Halogenaustausch in Siliciumtetrachlorid mit Antimon(III)-fluorid und Antimon(V)-chlorid als Katalysator gewonnen werden.
Eigenschaften Trichlorfluorsilan ist ein farbloses, sehr hydrolyseempfindliches Gas.
Verwendung Trichlorfluorsilan kann in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung von Siliciumschichten verwendet werden.
Einzelnachweise
Kategorie:Fluorverbindung Kategorie:Chlorsilan