Als (AEGD), deutsch: Bogengestützte Glimmentladung, wird die Erzeugung eines Gasplasmas durch Nutzung der Elektronen einer Vakuumbogenentladung bezeichnet. Dazu werden die Elektronen der Vakuumbogenentladung zu einer positiv vorgespannten Elektrode beschleunigt. Die beschleunigten, hochenergetischen Elektronen regen die Gasatome (z. B. Ar, H) oder Gasmoleküle (z. B. N2)J. Vetter, T. Wallendorf: Plasma diagnostics of arc-enhanced glow discharge. Surface and Coatings Technology vol. 76-77 issue 1-3 November, 1995. p. 322-327 an und ionisieren diese teilweise.J. Vetter, W. Burgmer, A. J. Perry: Arc- enhanced glow discharge in vacuum arc machines, Surface&Coatings Technology, Volume 59, issue 1-3, (October 1, 1993), p. 152-155 Die dadurch generierten Gasplasmen werden vorrangig für das Ionenreinigen und das Nitrieren vor der PVD-Hartstoffbeschichtung sowie DLC-Beschichtung (eine DLC-Schicht ist eine diamantähnliche Kohlenstoffschicht) eingesetzt. (Plasmatec GmbH) Die Plasmaerzeugung mittels des AEGD-Prozesses wird in PVD- und DLC-Beschichtungsanlagen, die mit Lichtbogenverdampfern oder Magnetron-Sputterquellen (z. B. in Hybrid-PVD-Anlagen bestehend aus HiPIMS-Magnetrons plus Lichtbogenverdampfen) angewendet. Erfunden wurde das Prinzip von Jörg Vetter und Mitarbeitern. Die AEGD-Systeme verschiedener technischer Realisierungen werden sowohl in Forschungsanlagen als auch in Industrieanlagen verschiedener Hersteller zur Beschichtung von Substraten eingebaut.
Einzelnachweise
Kategorie:Plasmaphysik