Willius ist der Familienname folgender Personen
Aenne Willius-Senzer (1896–1991), deutsche Balletttänzerin und Tanzlehrerin Cornelia Willius-Senzer (* 1943), deutsche Politikerin (FDP), MdL Emanuel Willius († 1728), deutscher Diplomat und Gesandter am Reichstag in Regensburg Wilhelm Ludwig Willius (1726–1786), deutscher Mediziner