Anton Heuberger (* 20. Februar 1942 in München; † 3. Februar 2011) war ein deutscher Ingenieur und Physiker.
Heuberger studierte an der Fakultät für Maschinenwesen und Elektrotechnik der Technischen Universität München, wo er 1973 mit einer Arbeit über den Einfluss des Absorptionsortes von γ-Quanten [Gamma-Quanten] auf die Energieauflösung diffundierter Halbleiterdetektoren mit innerer Verstärkung promoviert wurde.
Heuberger war von 1993 bis 2007 Leiter des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie in Itzehoe. Daneben bekleidete er den Lehrstuhl für Halbleitertechnik der Christian-Albrechts-Universität zu Kiel.
Heuberger war Mitglied der Deutschen Akademie der Technikwissenschaften (Acatech).siehe , abgerufen am 2. August 2015
Ehrungen 1988: Forschungspreis der Philip Morris Stiftung für die Entwicklung der Röntgenstrahllithographie und der Mikrostrukturtechnik 2007: Verdienstkreuz am Bande der Bundesrepublik Deutschland
Weblinks Verdienstkreuz am Bande an Professor Dr. Anton Heuberger, Garrit Leemreijze und Horst Schurad überreicht, Pressemitteilung der Landesregierung Schleswig-Holstein Traueranzeige in der Süddeutschen Zeitung
Einzelnachweise
Kategorie:Physiker (20. Jahrhundert) Kategorie:Physiker (21. Jahrhundert) Kategorie:Ingenieur Kategorie:Hochschullehrer (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel) Kategorie:Mitglied der Berlin-Brandenburgischen Akademie der Wissenschaften Kategorie:Mitglied der Deutschen Akademie der Technikwissenschaften (acatech) Kategorie:Institutsleiter der Fraunhofer-Gesellschaft Kategorie:Träger des Bundesverdienstkreuzes am Bande Kategorie:Deutscher Kategorie:Geboren 1942 Kategorie:Gestorben 2011 Kategorie:Mann