Tetramethylammoniumhydroxide (TMAH) is een quaternaire ammoniumverbinding. In watervrije toestand komt het voor als witte kristallen met een sterke ammoniakgeur. De stof is hygroscopisch en vormt met vocht een pentahydraat (CAS-nummer: 10424-65-4). Het is goed oplosbaar in water; waterige oplossingen zijn sterk basisch.
Synthese TMAH in waterige oplossing wordt geproduceerd door elektrolyse van een tetramethylammoniumzout; dat kan een anorganisch zout zijn zoals tetramethylammoniumchlorideU.S. Patent 4394226, "Electrolytic method for producing quaternary ammonium hydroxides" van 19 juli 1983 aan Thiokol Corp. of -sulfaat, of een organisch zout zoals tetramethylammoniumformiaat.U.S. Patent 4572769, "Method of manufacturing tetramethyl ammonium hydroxide" van 25 februari 1986 aan Tama Chemicals Co.
Toepassingen Ontwikkelmiddel voor fotoresist bij de vervaardiging van printplaten en micro-elektronische chips. Het is een bestanddeel van bufferoplossingen met hoge pH die gebruikt worden bij het chemisch-mechanisch polijsten van silicium-wafers.Europees Octrooi EP 0975705, "Buffer solutions for suspensions used in chemical-mechanical polishing" van 2 februari 2000 aan Merck Patent GmbH Base bij de productie van 4-aminodifenylamine (4-ADPA); dat is een intermediaire stof voor de synthese van antioxidantia en stabilisatoren van rubber en polymeren.U.S. Patent 5932768, "Process for the preparation of 4-aminodiphenylamine" van 3 augustus 1999 aan Bayer AG Tenside in ferrofluïda om een stabiele dispersie van de magnetische nanodeeltjes in het fluïdum te bekomen.
Toxicologie en veiligheid Blootstelling aan TMAH is corrosief voor de ogen, de ademhalingsorganen en de huid.
Contact met het tetramethylammoniumion kan effecten hebben op zenuwen en spieren, met als gevolg verstoorde ademhaling of hartwerking, en kan dodelijk zijn.Wu, C.L. et al. (2008): Mortality from dermal exposure to tetramethylammonium hydroxide. In: J. Occup. Health. 50(2):99-102. PDF
Categorie:Quaternair ammoniumzout Categorie:Hydroxide (base) Categorie:Corrosieve stof Categorie:Toxische stof